一、产品介绍
J-50MUV-248是一款热释电激光能量计探头，带有 MaxUV 涂层和扩散器，用于测量高达 200 pps 的 500 µJ 至 1J 的激光脉冲，有效区域直径为 50mm， 光谱范围为193 至 266 nm 。
并针对 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器进行了优化。该传感器直接校准在 248 nm，并包括从 193 nm 到 266 nm 的光谱补偿。它端接在 SmartProbe DB25 电缆中，可直接与 FieldMaxII-TOP、FieldMaxII-P、LabMax-TOP 和 LabMax-Pro SSIM 仪表兼容。
● 193 至 266 nm 光谱范围
● 有效区域直径 50 mm
● 500 µJ 至 1J 能量范围
● 200 pps 重复率操作
二、产品规格
| 型号 | J-50MUV-248 不带扩散器 | J-50MUV-248 带扩散器 |
| 能量范围 | 500 µJ to 1 J | 500 µJ to 1 J |
| 噪声等效能量 | <16 μJ | <16 μJ |
| 波长范围 | 0.19 to 2.1 μm | 0.19 to 0.266 μm |
| 有效面积直径 | 50 mm | 50 mm |
| 最大平均功率 | 10 W | 15 W |
| 最大脉冲宽度 | 86 μs | 86 μs |
| 最大重复率 | 200 pps | 200 pps |
| 最大能量密度 | 260 (at 248 nm, 10 ns) | 520 (at 248 nm, 10 ns) |
| 探测器涂层 | MaxUV | MaxUV |
| 扩散器 | No | DUV |
| 校准波长 | 248 nm | 248 nm |
| 校准不确定度 (k=2) | ±3 % | ±3 % |
| 能量线性% | ±3 % | ±3 % |
| 电缆长度 | 2.5 m | 2.5 m |
| 电缆类型 | J DB-25 | J DB-25 |
| 零件编号 | 1146243 | 1110572 |
三、尺寸图
