一、产品介绍
J-25MUV-248 是一款热释电激光能量计探头,用于测量高达 500 pps 的 90 µJ 至 100 mJ 的激光脉冲,探测器有效区域直径为25 mm,光谱范围为0.19 至 2.1 µm 。该探头可以接在 USB 电缆上,也可直接与 PC 连接 。
采用 MaxUV 涂层,并针对 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器进行了优化。该传感器直接校准在 193 nm,并包括 0.19 至 2.1 µm 的光谱补偿。
● 0.19 至 2.1 µm 光谱范围
● 有效区域直径 25 mm
● 90 µJ 至 100 mJ 能量范围
● 500 pps 重复率操作
二、产品规格
型号 | J-25MUV-193 不带扩散器 |
能量范围 | 50 µJ to 100 mJ |
噪声等效能量 | <2 μJ |
波长范围 | 0.19 to 2.1 μm |
有效面积直径 | 25 mm |
最大平均功率 | 5 W |
最大脉冲宽度 | 43 μs |
最大重复率 | 500 pps |
最大能量密度 | 200 (at 193 nm, 10 ns) |
探测器涂层 | MaxUV |
扩散器 | No |
校准波长 | 193 nm |
校准不确定度 (k=2) | ±3 % |
能量线性% | ±3 % |
电缆长度 | 2.5 m |
电缆类型 | J DB-25 |
零件编号 | 1110741 |
三、尺寸图