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J-25MUV-193激光能量计

J-25MUV-193激光能量计用于准分子激光器Coherent

一、产品介绍

J-25MUV-248 是一款热释电激光能量计探头,用于测量高达 500 pps 的 90 µJ 至 100 mJ 的激光脉冲,探测器有效区域直径为25 mm,光谱范围为0.19 至 2.1 µm 。该探头可以接在 USB 电缆上,也可直接与 PC 连接 。

采用 MaxUV 涂层,并针对 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器进行了优化。该传感器直接校准在 193 nm,并包括 0.19 至 2.1 µm 的光谱补偿。

● 0.19 至 2.1 µm 光谱范围

● 有效区域直径 25 mm

● 90 µJ 至 100 mJ 能量范围

● 500 pps 重复率操作

二、产品规格

型号J-25MUV-193 不带扩散器
能量范围50 µJ to 100 mJ
噪声等效能量<2 μJ
波长范围0.19 to 2.1 μm
有效面积直径25 mm
最大平均功率5  W
最大脉冲宽度43 μs
最大重复率500 pps
最大能量密度200 (at 193 nm, 10 ns)
探测器涂层MaxUV
扩散器No
校准波长193 nm
校准不确定度 (k=2)±3 %
能量线性%±3 %
电缆长度2.5 m
电缆类型J DB-25
零件编号1110741

三、尺寸图

J-25MUV-193尺寸图