一、产品介绍
J-50MUV-193 能量传感器采用 MaxUV 涂层，用于测量 200 µJ 至 250 mJ 的激光脉冲，最高可达 200 pps。并针对 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器进行了优化。该传感器直接校准在 193 nm，并包括从 193 nm 到 2.1 µm 的光谱补偿。
J-50MUV-193 能量传感器端接在 USB 电缆上，可直接与 PC 连接。可以使用大型散热器来通过增加平均功率能力来扩展 EnergyMax 传感器的能量和重复率。
● 19 至 2.1 µm 光谱范围
● 有效区域直径 50 毫米
● 200 µJ 至 250 mJ 能量范围
● 200 pps 重复率操作
二、产品参数
| 型号 | J-50MUV-193 w/o Diffuser（无扩散器） | J-50MUV-193 w/ Diffuser（有扩散器） |
| 能量范围 | 125 µJ - 250 mJ | 125 µJ - 250 mJ |
| 噪声等效能量 | <4 μJ | <4 μJ |
| 波长范围 | 0.19 - 2.1 μm | 0.19 - 0.266 μm |
| 有效面积直径 | 50 mm | 50 mm |
| 最大平均功率 | 10 W | 18 W |
| 最大脉冲宽度 | 86 μs | 86 μs |
| 最大重复率 | 200 pps | 200 pps |
| 最大能量密度 | 200 (at 193 nm, 10 ns) | 400 (at 193 nm, 10 ns) |
| 探测器涂层 | MaxUV | MaxUV |
| 扩散器 | No | DUV |
| 校准波长 | 193 nm | 193 nm |
| 校准不确定度 (k=2) | ±3 % | ±3 % |
| 能量线性 | ±3 % | ±3 % |
| 电缆长度 | 2.5 m | 2.5 m |
| 电缆类型 | J DB-25 | J DB-25 |
| 零件编号 | 1146237 | 1110575 |
三、尺寸图
