光束的采样和衰减分两步进行。
一、高质量的分束器通常用于使 90% 的光束通过分束器，并且通常将 10% 的光束反射或分束离开输入路径 90°。
1、分束器通常是用于紫外到近红外的石英，以及用于 CO2 的 AR 涂层 ZnSe，或透射或反射光栅。
2、分光器可以楔入以消除来自两个表面的反射的干扰，或者足够厚以使背面反射不与正面反射重叠。
3、分束器对偏振敏感，应该考虑这个因素。
二、然后，该采样光束通常会使用高质量的均匀中性密度滤光片进行衰减。
1、从 450nm 到 2µm 的 ND 滤光片可以散装吸收 BK7 玻璃，并取得出色的效果。
2、在 UV 中，可以使用带有表面反射涂层的石英板。但是，必须非常小心以尽量减少干涉条纹。
3、在 10.6µm 平面上，CaF2 每毫米厚度吸收约 50%，可用于衰减 CO2 光束。
4、2mm 到 10mm 区域的衰减很困难，最好通过多个分束器来完成。
